Die Hauptklassifizierung von Sensoren:
Mit dem Zweck
Druckempfindliche und kraftempfindliche Sensoren, Positionssensoren, Füllstandsensoren, Energiesensoren, Geschwindigkeitssensoren, Beschleunigungssensoren, Strahlungssensoren, Wärmesensoren.
Grundsätzlich
Vibrationssensor, Feuchtigkeitssensor, Magnetsensor, Gassensor, Vakuumsensor, Biosensor usw.
Ausgangssignal drücken
Analogsensor: Wandelt die gemessene nichtelektrische Größe in ein analoges elektrisches Signal um.
Digitaler Sensor: Wandelt die gemessenen nichtelektrischen Größen in digitale Ausgangssignale (direkt und indirekt) um.
Digitaler Sensor: Wandelt das gemessene Semaphor in die Ausgabe eines Frequenzsignals oder eines Kurztaktsignals (einschließlich direkter oder indirekter Umwandlung).
Sensor wechseln: Wenn ein gemessenes Signal eine bestimmte Schwelle erreicht, gibt der Sensor entsprechend ein gesetztes Tief- oder Hochsignal aus.
Durch den herstellungsprozess
Integrierte Sensoren werden unter Verwendung von Standardverfahren zur Herstellung von integrierten Halbleiterschaltkreisen auf Siliziumbasis hergestellt.
Ein Teil der Schaltung, die ursprünglich zum Verarbeiten des zu prüfenden Signals verwendet wird, ist normalerweise auch auf demselben Chip integriert.
Der Dünnfilmsensor wird durch einen Film aus einem entsprechenden empfindlichen Material gebildet, das auf einem dielektrischen Substrat (Substrat) abgeschieden ist. Wenn ein Mischprozess verwendet wird, kann ein Teil der Schaltung auch auf diesem Substrat hergestellt werden.
Der Dickfilmsensor wird hergestellt, indem eine Aufschlämmung aus einem entsprechenden Material auf ein Keramiksubstrat aufgebracht wird, das üblicherweise aus Al 2 O 3 besteht, und dann zur Bildung eines Dickfilms wärmebehandelt.
Keramische Sensoren werden unter Verwendung von Standardkeramikverfahren oder einer Variation davon (Sol, Gel usw.) hergestellt.
Nachdem der geeignete Vorbereitungsvorgang abgeschlossen ist, wird das geformte Bauteil bei einer hohen Temperatur gesintert. Es gibt viele Gemeinsamkeiten zwischen den beiden Prozessen der Dickschicht- und Keramiksensoren, wobei der Dickschichtprozess in mancher Hinsicht als Variante des Keramikprozesses betrachtet werden kann.
Jede Prozesstechnologie hat ihre eigenen Vor- und Nachteile. Keramik- und Dickschichtsensoren sind aufgrund niedrigerer Investitionen für Forschung, Entwicklung und Produktion und hoher Stabilität der Sensorparameter sinnvoller.
Durch Messung
Physikalische Sensoren werden mit Eigenschaften hergestellt, die bestimmte physikalische Eigenschaften der zu messenden Substanz erheblich verändern.
Chemische Sensoren bestehen aus empfindlichen Komponenten, die chemische Größen wie chemische Zusammensetzung und Konzentration in elektrische Größen umwandeln.
Biosensoren sind Sensoren, die die Eigenschaften verschiedener biologischer oder biologischer Materialien nutzen, um chemische Komponenten in lebenden Organismen zu erkennen und zu identifizieren.
Entsprechend seiner Zusammensetzung
Basissensor: Es ist das einfachste Einzelumwandlungsgerät.
Kombinierter Sensor: Ein Sensor, der aus einer Kombination verschiedener einzelner Wandler besteht.
Anwendungssensor: Es handelt sich um einen Sensor, der aus einem Basissensor oder einem Kombinationssensor zusammen mit anderen Mechanismen besteht.
Durch Aktionsformular
Je nach Aktionsformular kann es in aktive und passive Sensoren unterteilt werden.
Der aktive Sensor hat einen Funktionstyp und einen Reaktionstyp. Der Sensor kann ein bestimmtes Erfassungssignal an das zu erfassende Objekt abgeben, kann die Änderung des Erfassungssignals in dem zu messenden Objekt erfassen oder ein bestimmtes Erfassungssignal in dem zu testenden Objekt erzeugen. Der Effekt bildet ein Signal. Ein Verfahren zum Erkennen einer Änderung in einem Erfassungssignal wird als Aktionstyp bezeichnet, und ein Verfahren zum Erkennen einer Antwort zum Bilden eines Signals wird als Reaktionstyp bezeichnet. Radar- und Hochfrequenzbereichsdetektoren sind Beispiele für Maßnahmen, während photoakustische Analysegeräte und Laseranalysatoren Beispiele für Reaktionen sind.
Passive Sensoren empfangen nur Signale, die vom zu prüfenden Objekt erzeugt werden, wie Infrarotstrahlungsthermometer, Infrarotkameras usw.