VCSEL的基本结构从上到下包括:P型欧姆接触电极、P型掺杂DBR、氧化物限制层、多量子阱有源区、N型掺杂DBR、衬底和N型欧姆接触电路。这里是VCSEL结构的截面图[1]。VCSEL的有源区夹在两侧的DBR反射镜之间,它们一起形成Fabry-Perot谐振腔。光学反馈由两侧的DBR提供。通常,DBR的反射率接近100%,而上部DBR的反射率相对较低。在操作过程中,电流通过有源区上方的氧化物层通过两侧的电极注入,这将在有源区中形成受激辐射,以实现激光输出。激光器的输出方向垂直于有源区的表面,穿过限制层的表面,并从低反射率DBR反射镜发射。
在了解了基本结构之后,就很容易理解所谓的“垂直排放”和“平行排放”分别是什么意思了。下图分别显示了VCSEL和EEL的发光方法[4]。图中所示的VCSEL是底部发射模式,也有顶部发射模式。
对于半导体激光器,为了将电子注入有源区,通常将有源区置于PN结中,通过N层将电子注入到有源区中,并且通过P层将空穴注入到有源区域中。为了获得高的激光发射效率,通常不掺杂有源区。然而,在生长过程中,半导体芯片中存在背景杂质,并且有源区不是理想的本征半导体。当注入的载流子与杂质结合时,载流子的寿命会降低,导致激光器的激光发射效率降低,但同时会增加激光器的调制速率,因此有时有源区会被有意掺杂。在确保性能的同时提高调制速率。
此外,我们可以从前面对DBR的介绍中看到,VCSEL的有效腔长是有源区的厚度加上DBR在两侧的穿透深度。VCSEL的有源区很薄,谐振腔的总长度通常为几微米。EEL使用边缘发射,并且腔的长度通常为几百微米。因此,VCSEL具有较短的腔长、较大的纵模间距和较好的单纵模特性。此外,VCSEL的有源区体积也较小(0.07立方微米,而EEL通常为60立方微米),因此VCSEL的阈值电流也较低。然而,减小有源区的体积会使谐振腔收缩,这将增加损耗并增加振荡所需的电子密度。需要提高谐振腔的反射率,因此VCSEL需要制备具有高反射率的DBR。然而,对于最大光输出,存在最佳反射率,这并不意味着反射率越高越好。如何降低光损耗,制备高反射率反射镜一直是一个技术难题。